特許

J-GLOBAL ID：200903051515814247

蛍光X線分析方法

発明者： 片岡 由行 ,  河野 久征 ,  井上 稔
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-068747
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240543
出願日： 1995年03月01日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【目的】 X線を用いて、組成が未知の分析対象試料に対し、その分析対象試料がいわゆる超軽元素を含むものであっても、複数の標準試料の中から、組成が近似する標準試料を検索できる方法を提供する。【構成】 分析対象試料13の各含有元素の含有率を算出することにより分析対象試料13の概略の組成を求め、なおかつ、前記概略組成に所定の元素よりも原子番号の小さい元素が含まれる場合には、対比する標準試料3における当該元素の蛍光X線強度および含有率ならびに分析対象試料13における当該元素の蛍光X線強度から前記概略組成を補正して、標準試料3の組成と比較する。

請求項（抜粋）：

X線を用いて、組成が未知の分析対象試料に対し、組成と各含有元素から発生する蛍光X線強度とが既知で組成が相異なる複数の標準試料の中から、組成が近似する標準試料を検索する方法において、分析対象試料の組成を仮定して計算した各含有元素の蛍光X線の理論強度または予め計算した理論マトリックス補正定数と、分析対象試料に1次X線を照射して発生した各含有元素の蛍光X線の測定強度とに基づいて、分析対象試料の各含有元素の含有率を算出することにより分析対象試料の概略の組成を求め、前記概略組成とすべての標準試料の組成を対比し、前記概略組成に所定の元素よりも原子番号の小さい元素が含まれない場合には、前記概略組成をそのまま比較用組成とし、前記概略組成に前記所定の元素よりも原子番号の小さい元素が含まれる場合には、対比する標準試料における当該元素の蛍光X線強度および含有率ならびに分析対象試料における当該元素の蛍光X線強度から前記概略組成を補正して比較用組成とし、前記比較用組成を構成する各元素の含有率と対比する標準試料の組成を構成する当該元素の含有率との差に基づいて、分析対象試料に組成が近似する標準試料を検索することを特徴とする検索方法。