光学顕微鏡一体型走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-325831
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166602
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】観察者が接眼レンズを通して直接目で観察する際にレーザー光が観察者の目に入ることのない光学顕微鏡一体型走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡は、SPM測定ユニット114が倒立型光学顕微鏡130に組み込まれている。倒立型光学顕微鏡130は対物レンズ132と接眼レンズ134を有し、その間の観察光路上にはレーザーシャッター150が配置されている。レーザーシャッター150は、スライダーの移動により開閉し、その開閉を検出するスイッチを備えている。論理回路106は、レーザーシャッター150からのスイッチ出力信号aとコントローラー104からのコントローラー出力信号bに対して演算を行ない、LDスイッチ108は、論理回路106からの出力信号cに基づいて、レーザー光源120の「入・切」を最終的に決定する信号を出力する。

請求項（抜粋）：

測定試料に対してSPM測定を行なう手段と、少なくとも測定試料を光学的に観察する光学系とを備えた光学顕微鏡一体型走査型プローブ顕微鏡であり、ここに、SPM測定手段は、自由端に探針を有するカンチレバーと、カンチレバーの変位を検出する手段とを有し、変位検出手段は、レーザー光を射出するレーザー光源を有し、観察光学系は、観察者の目による観察を可能にする接眼レンズを有しており、さらに、測定試料から接眼レンズへ向かう観察光の透過・遮断を制御するシャッター手段と、シャッター手段が開いたときにレーザー光源を消灯する制御手段とを備えている光学顕微鏡一体型走査型プローブ顕微鏡。

IPC (6件)：

G01N 37/00 , G01B 9/04 , G01B 21/30 , G02B 21/00 , G06T 1/00 , H01J 37/28

FI (6件)：

G01N 37/00 A , G01B 9/04 , G01B 21/30 Z , G02B 21/00 , H01J 37/28 Z , G06F 15/64 325 H

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