真空中にて使用するガス冷却静電ピンチャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-058101
公開番号（公開出願番号）：特開2002-305238
出願日： 2002年03月05日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】ウエハの全作業領域に亘って熱の均一な伝達を供給し、作動環境への冷却ガスの漏れを最小限にし、更にウエハの変形を防止する静電チャックを提供する。【解決手段】環状のガスインレットを配置し、サブストレートを保持するために一様な分布の冷却ガスを供給し、ウエハの周辺でガスベアリングのシールを配置する。

請求項（抜粋）：

工程のためのサブストレートを支持するチャックであって、上面を持つベースと、前記サブストレートを支持する前記上面から突き出した複数の支持ピンと、前記サブストレートの下の中央あるいは中央付近に配置されたガスインレットと、前記ベースの上面の中心付近に配置された環状のガスインレットとを備え、前記サブストレートの下で前記ガスインレットを通じてのガスの分布がが比較的均一なガス圧力を得るように環状のガスインレットの位置を選ぶことを特徴とするチャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 R , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 541 L

Fターム (19件)：

5F031CA02 , 5F031HA05 , 5F031HA08 , 5F031HA16 , 5F031HA38 , 5F031HA40 , 5F031MA26 , 5F031MA27 , 5F031MA28 , 5F031MA30 , 5F031MA31 , 5F031MA32 , 5F031NA04 , 5F031NA05 , 5F031PA14 , 5F031PA18 , 5F031PA30 , 5F056EA13 , 5F056EA16

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平1-251735
特開平4-208551
特開平4-061325

審査官引用 (3件)

特開平1-251735
特開平4-208551
特開平4-061325

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