特許
J-GLOBAL ID：200903051520230628
欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026981
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242013
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 繰り返し的パターンがある欠陥検査対象物の画像データの繰り返し的パターンを有効に除去する欠陥検査装置を提供すること。【構成】 欠陥検査対象物を撮像する撮像手段4と、A/D変換手段7と、2値化手段17と、不良判定手段18とを有する欠陥検査装置において、画像データを周波数空間データに変換するフーリエ変換手段10と、周波数空間データから除去したい周波数領域を除去する周波数マスク領域を記憶しているマスク領域記憶手段12及び使用する周波数マスク領域を決定するマスク領域決定手段15とを備えたマスク領域決定部と、決定された周波数マスク領域を使用してマスクした周波数空間データを画像データに逆フーリエ変換しこの画像データを前記2値化手段17に出力する逆フーリエ変換手段16とを有する。
請求項（抜粋）：
欠陥検査対象物を撮像し映像信号として出力する撮像手段と、映像信号をA/D変換し画像データとして出力するA/D変換手段と、画像データを2値化し2値画像として出力する2値化手段と、2値画像の特徴量を演算して欠陥を検査する不良判定手段とを有する欠陥検査装置において、画像データをフーリエ変換して周波数空間データとするフーリエ変換手段と、周波数空間データから除去すべき周波数領域を示す周波数マスク領域を決定するマスク領域決定部と、決定された周波数マスク領域を使用してマスクした周波数空間データを画像データに逆フーリエ変換しこの画像データを前記2値化手段に出力する逆フーリエ変換手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G06F 15/62 400
, G06F 15/70 330
, G06F 15/70 455
