特許
J-GLOBAL ID：200903051529687221
処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-032807
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206010
出願日： 1992年01月24日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】処理ユニットの装置本体の取付位置への位置合せ及び取付を簡単にし、かつ取付部の強度の確保を図る。【構成】処理装置本体7のフレーム8に狭隘開口状の取付溝12を沿設する。ねじ孔14を有する取付座13を取付溝12内に摺動可能に挿入する。ユニット6のフランジ10を貫通する固定ねじ9を取付座13のねじ孔14にねじ結合して、ユニット6をフレーム8に固定する。これにより、ユニット6をフレーム8に着脱可能に取付けることができると共に、取付位置を容易に変更することができる。
請求項（抜粋）：
被処理体を処理するユニットを装置本体のフレームに装着してなる処理装置において、上記フレームに沿設される狭隘開口状の取付溝内に摺動可能に挿入される取付座と、上記ユニットの取付部を介して上記取付座に連結する固定部材にて、上記ユニットを着脱可能及び位置調整可能に固定してなることを特徴とする処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, F16B 5/02
, G03F 7/26
