特許

J-GLOBAL ID：200903051530008397

無電解めっきのための活性化触媒液および無電解めっき方法

発明者： 加納 修 ,  吉田 育史 ,  千田 厚生
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 小柴 雅昭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-086725
公開番号（公開出願番号）：特開平9-272980
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】 ハイブリッドIC、高周波誘電体フィルタなどにおける特定のパターンを有する導体膜を無電解めっきにより形成するとき、基材上に感光膜を形成するための活性化触媒液の準備、活性化触媒液の付与による感光膜の形成、感光膜の特定領域の露光による活性化触媒の生成、非露光領域の感光膜の洗浄による現像、および無電解めっき浴への基材の浸漬の一連の工程を、有機溶剤を用いることなく安全かつ能率的に進めることを可能にするとともに、露光において光に対する感度が高く、小さい照射エネルギーで活性化触媒の生成が可能な無電解めっきのための活性化触媒液を提供する。【解決手段】 活性化触媒液は、シュウ酸亜鉛と銅塩と塩化パラジウムのようなパラジウム塩とアンモニア水のようなアルカリ溶液とを含有する。この活性化触媒液を、無電解めっきすべき基材上に感光膜を形成するために用いる。

請求項（抜粋）：

シュウ酸亜鉛と銅塩とパラジウム塩とアルカリ溶液とを含む親水性の無電解めっきのための活性化触媒液。