特許

J-GLOBAL ID：200903051532011476

洗浄方法

発明者： 中井 寛 ,  佐伯 一丸 ,  西田 英夫 ,  空 利之 ,  宮川 守 ,  村岡 薫
出願人/特許権者： 神鋼パンテツク株式会社
代理人 (1件)： 角田 嘉宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-086661
公開番号（公開出願番号）：特開2002-282806
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月02日
要約：

【要約】【課題】 被洗浄物を回転させつつ洗浄する洗浄容器内への汚染物質の混入を防止する洗浄方法を提供すること【解決手段】 被洗浄物8を保持する保持具9を洗浄容器1内に有し、保持具9を回転させつつ洗浄容器1内に導入した洗浄流体によって被洗浄物8を洗浄する。保持具9を回転させる回転軸7、7aを支持する軸受14を境にして、容器1内の圧力を容器外の圧力より高く保持しつつ洗浄する。

請求項（抜粋）：

被洗浄物を洗浄容器内に保持し、被洗浄物を回転させつつ洗浄容器内に導入した洗浄流体によって被洗浄物を洗浄する方法において、上記被洗浄物を回転させる回転軸を支持する軸受を境にして、洗浄容器側の圧力を洗浄容器とは反対側の圧力より高く保持しつつ洗浄することを特徴とする洗浄方法。

IPC (4件)：

B08B 5/02 ,  C11D 7/02 ,  C11D 7/50 ,  H01L 21/304 641

FI (4件)：

B08B 5/02 Z ,  C11D 7/02 ,  C11D 7/50 ,  H01L 21/304 641

Fターム (15件)：

3B116AA03 ,  3B116AB01 ,  3B116AB34 ,  3B116BB88 ,  3B116BB90 ,  3B116CD11 ,  3B116CD22 ,  3B116CD31 ,  4H003DA14 ,  4H003DA15 ,  4H003DA16 ,  4H003DB01 ,  4H003DC04 ,  4H003EA31 ,  4H003FA15