特許

J-GLOBAL ID：200903051540170656

基板カセット

発明者： 遠藤 豊 ,  澤田 真也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-172784
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012670
出願日： 1998年06月19日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】 ウエハの収納の有無の検出に制約の少なく、基板取扱装置のチャンバ内の空間の汚染を少なくすることができる密封型の基板カセットを提供することである。【解決手段】 ウエハWの搬出入用の開口部を有する略直方体状の箱体12の内部に複数のウエハWを支持するための棚板部15を設け、該開口部に着脱可能に蓋体13を取り付けて箱体12の内部を密封するようにした基板カセット11において、箱体12の開口部と反対側の後壁部14に各棚板部15に対応する複数の貫通孔16を形成し、各貫通孔16を開閉する開閉扉17をスライド可能に取り付けた。

請求項（抜粋）：

基板搬出入用の開口部を有する箱体の内部に複数の基板を支持するための棚を設け、該開口部に着脱可能に蓋体を取り付けて該箱体内部を密封するようにした基板カセットにおいて、前記箱体の前記開口部と反対側の面に貫通孔を形成し、該貫通孔を開閉する開閉扉を取り付けたことを特徴とする基板カセット。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R

Fターム (24件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB03 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA17 ,  3E096DA18 ,  3E096DA30 ,  3E096DB06 ,  3E096DC01 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA40 ,  3E096GA20 ,  5F031BB01 ,  5F031BB04 ,  5F031GG02 ,  5F031GG12 ,  5F031KK04 ,  5F031KK06 ,  5F031KK07 ,  5F031KK09 ,  5F031LL01