光音響信号検出方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-340647
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172737
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】本発明は光音響信号検出装置に関し、単純構成にして、また試料表面の反射率分布及び凹凸分布の影響を受けにくい、試料の2次元内部情報の高速検出を可能とする方法及びその装置を提供することにある。【構成】ストライプ状の励起ビーム101により、試料の複数の測定点を並列に同時に励起し、各点で生じた光音響信号の検出に光干渉を利用し、干渉光を並列に同時に検出する構成201、202とすることにより、試料の複数測定点の光音響信号を並列に同時に検出することができ、上記目的が達成される。【効果】試料の複数測定点の光音響信号を並列に同時に検出することが可能となるため、試料の2次元表面及び内部情報の高速検出が可能になるという効果を有する。また、試料表面の反射率分布、凹凸分布、光路のゆらぎを補正した光音響信号の検出が可能となり、高感度かつ安定な検出が可能になるという効果を有する。

請求項（抜粋）：

所望の周波数で強度変調した光を試料表面の複数の測定点に照射して該複数の測定点の表面あるいは内部において光音響効果あるいは光熱効果を発生させ、該複数の測定点に光を照射してその反射光と参照光との干渉光を試料表面と共役の関係にあり、且つ各測定点に対応した複数個の光電変換素子からなる検出器で検出し、該検出した干渉光強度信号の中から複数の測定点において生じた、上記強度変調周波数と同じ周波数成分の熱歪を検出し、該周波数成分の熱歪より試料の複数の測定点の表面及び内部情報を検出することを特徴とする光音響信号検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/00 , G01N 29/00 501

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-282253
特開平3-221861
特開昭60-085363

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