MRヘッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-200664
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054914
出願日： 1995年08月07日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【目的】薄膜磁気ヘッドにおいて、信号再生特性の良好なMRヘッドの製造方法を提供する事を目的とする。【構成】MR素子下地膜4の表面5を、研磨加工等により、その表面粗さを0.3nmRq以下の良好な表面に形成した後、MR膜6を薄膜形成技術により形成する。【効果】良好な表面粗さのMR下地膜の上に、MR膜を形成する事により、良好な表面性状のMR膜を得る事ができる。これにより、信号再生特性の良好なMRヘッドを得る事ができる。

請求項（抜粋）：

基板上に表面粗さが0.3nmRq(2乗平均粗さ)以下の下地膜を設け、該下地膜上にMR膜を有する事を特徴とするMRヘッド。

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