特許

J-GLOBAL ID：200903051556086264

反射スペクトルの測定方法および反射スペクトル測定装置

発明者： 小林 淳二 ,  黒川 博志
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (2件)： 宮田 金雄 ,  高瀬 彌平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-373683
公開番号（公開出願番号）：特開2004-205311
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】空間分解能が測定光の波長未満の、サブミクロン以下である反射スペクトルを得ることができる反射スペクトル測定装置を得る。【解決手段】分光エリプソメータに加えて、プローブ9と、近接場光を発生させる励起光を照射する励起光照射手段となる第2の光源10と、上記プローブを測定光の試料照射面に近付ける移動手段となる3Dアクチュエータ11とを備えている。プローブ9は測定光の波長より小さい口径の微小開口を有し、第2の光源10により近接場光を発生させる励起光を照射し、石英製の光ファイバー12を通して、上記プローブ9の先端に近接場光を発生させ、3Dアクチュエータ8を移動手段として、プローブ9を試料表面に接近させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

反射スペクトルの測定方法において、試料に入射する測定光と上記試料から反射する光との干渉によって形成される光場に、先端に上記測定光の波長より小さい口径の開口を有し、上記先端に近接場光が発生するプローブを進入させて、上記近接場光により上記光場を散乱させて反射スペクトルを測定する反射スペクトルの測定方法。

IPC (7件)：

G01N13/14 ,  G01J3/44 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G01N21/27 ,  G01N21/45 ,  G01N21/956

FI (7件)：

G01N13/14 A ,  G01J3/44 ,  G01J4/04 A ,  G01N21/21 Z ,  G01N21/27 B ,  G01N21/45 A ,  G01N21/956 A

Fターム (36件)：

2G020BA02 ,  2G020BA18 ,  2G020CA03 ,  2G020CA12 ,  2G020CA15 ,  2G020CB04 ,  2G020CB27 ,  2G020CC01 ,  2G020CC24 ,  2G020CD03 ,  2G020CD12 ,  2G020CD15 ,  2G020CD16 ,  2G020CD24 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BA11 ,  2G051BB07 ,  2G051BB15 ,  2G051CA01 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G059AA02 ,  2G059BB08 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE07 ,  2G059EE09 ,  2G059EE12 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK01