特許

J-GLOBAL ID：200903051556943078

ハロゲン化物ガスの分解方法

発明者： 中野 久治 ,  松岡 伸彦 ,  植田 哲生 ,  中川 伸介
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-190983
公開番号（公開出願番号）：特開平10-028839
出願日： 1996年07月19日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：

【要約】【課題】酸素を含有するハロゲン化物ガス等を低温で高効率に分解無害化し、装置の構造・材質的に有利な分解方法を提供する。【解決手段】ハロゲン化物ガスと、水酸化カリウム含有率が0.05〜40重量%の範囲であるところの水酸化カリウムとアルカリ土類金属酸化物またはアルカリ土類金属水酸化物の混合物とを接触反応させる際に、前処理として活性炭、鉄粉、ニッケル粉のうちから選択される1種以上と500〜900°Cの温度範囲で接触させること、または、水酸化カリウム含有率が0.05〜40重量%の範囲であるところの水酸化カリウムとアルカリ土類金属酸化物またはアルカリ土類金属水酸化物、および活性炭、鉄粉、ニッケル粉のうちから選択される1種以上を混合したものとを500〜900°Cの温度範囲で接触させる。さらに酸素が共存するハロゲン化物ガスを、予めSi、Ti、Ge、W、Mo、Fe、Mn、Co、Zn、Sn、B、Zrからなる群から選択された1種以上の元素の単体またはそれらの非酸化物の化合物と300〜800°Cの温度範囲で接触させる。

請求項（抜粋）：

ハロゲン化物ガスと、水酸化カリウム含有率が0.05〜40重量%の範囲であるところの水酸化カリウムとアルカリ土類金属酸化物またはアルカリ土類金属水酸化物の混合物を300〜900°Cの温度範囲で接触させるハロゲン化物ガスの分解方法において、ハロゲン化物ガスに酸素ガスが共存する場合、水酸化カリウムとアルカリ土類金属酸化物またはアルカリ土類金属水酸化物の混合物による分解処理に先立ってハロゲン化物ガスと酸素の混合ガスを活性炭、鉄粉、ニッケル粉のうちから選択される1種以上と500〜900°Cの温度範囲で接触させることを特徴とするハロゲン化物ガスの分解方法。

IPC (5件)：

B01D 53/86 ZAB ,  B01D 53/46 ,  B01J 20/02 ,  B01J 20/20 ,  B01J 23/02 ZAB

FI (5件)：

B01D 53/36 ZAB G ,  B01J 20/02 A ,  B01J 20/20 A ,  B01J 23/02 ZAB A ,  B01D 53/34 120 A