特許

J-GLOBAL ID：200903051572617059

薄膜コンデンサ及びその製造方法

発明者： 堤 祐介
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-052938
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244139
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】誘電体薄膜の結晶相の不均一性を解消して、コンデンサの静電容量のばらつきを解消でき、、低コストで、大容量化できる薄膜コンデンサ及び簡単、且つ確実に形成することができる薄膜コンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】Auを有する下部電極2と上部電極4との間に、金属元素としてPb、Mg、Nb、TiおよびZrを含有する誘電体薄膜3を介在させて成る薄膜コンデンサにおいて、前記上部電極4は、誘電体薄膜3と接触するAuからなる第1の電極層41と、該第1の電極層41上に被着形成される第2の電極層42とからなる薄膜コンデンサである。

請求項（抜粋）：

Auからなる下部電極と上部電極との間に、金属元素としてPb、Mg、Nb、TiおよびZrを含有する誘電体薄膜を介在させて成る薄膜コンデンサにおいて、前記上部電極は、誘電体薄膜と接触するAuからなる第1の電極層と、該第1の電極層上に被着形成される第2の電極層とからなることを特徴とする薄膜コンデンサ。

IPC (4件)：

H01G 4/33 ,  H01G 4/12 394 ,  H01G 4/12 397 ,  H01G 4/12 400

FI (4件)：

H01G 4/12 394 ,  H01G 4/12 397 ,  H01G 4/12 400 ,  H01G 4/06 101

Fターム (28件)：

5E001AB06 ,  5E001AC04 ,  5E001AC09 ,  5E001AC10 ,  5E001AE00 ,  5E001AE04 ,  5E001AH01 ,  5E001AH03 ,  5E001AH08 ,  5E001AH09 ,  5E001AJ01 ,  5E001AJ02 ,  5E001AZ00 ,  5E082AB03 ,  5E082BC38 ,  5E082BC40 ,  5E082EE05 ,  5E082EE18 ,  5E082EE23 ,  5E082EE26 ,  5E082EE37 ,  5E082FG04 ,  5E082FG26 ,  5E082FG27 ,  5E082FG46 ,  5E082KK01 ,  5E082LL35 ,  5E082MM24