特許
J-GLOBAL ID：200903051572808253
シリコン切断廃液からの砥粒回収方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-192042
公開番号（公開出願番号）：特開平8-039430
出願日： 1994年07月22日
公開日（公表日）： 1996年02月13日
要約：
【要約】【目的】 シリコン単結晶のワイヤーソー切断において生じる廃砥粒調合油から再利用可能な砥粒を回収する。【構成】 砥粒調合油に含まれる油分と相溶する低粘度の抽出剤を、廃砥粒調合油に添加する工程と、この抽出剤を添加した廃砥粒調合油を遠心分離にかけて、固相と液相とに分離する工程とを有することを特徴とするシリコン切断廃液からの砥粒回収方法である。さらに、得られた固相を比重分離または浮遊分離にかけることにより所定の粒径以上の砥粒を得る工程と有することが望ましい。
請求項（抜粋）：
シリコン結晶の切断の際に使用される砥粒調合油の廃液からの砥粒の回収方法であって、a)砥粒調合油に含まれる油分と相溶する低粘度の抽出剤を、廃砥粒調合油に添加する工程と、b1)この抽出剤を添加した廃砥粒調合油を遠心分離にかけて、所定の粒径以上の固形物を含有する固相と、所定の粒径未満の固形残渣を含有する液相とに分離する工程と、を有することを特徴とするシリコン切断廃液からの砥粒回収方法。
IPC (2件)：
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