特許
J-GLOBAL ID：200903051573385119
センサ取付角調整治具および基板位置検出装置のセンサ取付角調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-316770
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162268
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 安価な治具を用いて光学的位置検出センサの取付角を容易に調整する。【解決手段】 適正配置された状態を想定したエッジ検出センサ16の光学的検出領域16aと同形状の透光孔12を有する治具11Aをスピンチャックに載置し、エッジ検出センサ16での検出値が最大になるようにその取付角を調節する。
請求項（抜粋）：
回転テーブル上の略円板状遮光物のエッジ位置を検出するよう少なくとも一方向に長さを有する光学的検出領域が形成された光学的位置検出センサについてその取付角を調整するために使用されるものであって、前記回転テーブルに対して回転中心点を合わせた場合の前記光学的位置検出センサの光学的検出領域に対応する位置に、光学的位置検出センサが最適な取付角で取り付けられた場合の光学的検出領域に対応した形状の透光孔が形成されたことを特徴とするセンサ取付角調整治具。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G01B 11/26
, H01L 21/027
H01L 21/68 M
, G01B 11/26 Z
, H01L 21/30 502 J
