表面プラズモン顕微鏡及び表面プラズモン顕微鏡における暗環像情報取得方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：河野登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-278917
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083886
出願日： 2001年09月13日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】スペックルノイズを生じないで分解能とコントラストを共に改善し、試料を回転させずにS/N比の優れた高画質の画像の取得が可能で、試料の光学特性、形状等の観察が容易、確実にできる表面プラズモン顕微鏡を提供する。【解決手段】 P偏光成分を有する入射光6が対物レンズ4に入射され、金属薄膜2に位置する対物レンズ4の焦点PSに向け円錐状に集光される。円錐状の入射光では、プラズモン励起角θeが必ず存在し、プラズモン励起角θeに対応する反射光7の強度は低いことから、焦点面5に、暗環像11を伴う焦点面結像8を生じる。焦点面結像8の光強度を検出して、試料観察を行う。

請求項（抜粋）：

表面プラズモン共鳴を励起する金属薄膜を一表面に備えた透光性基板と、該透光性基板の他表面側に平行に配置されて前記金属薄膜に焦点を有する対物レンズと、前記対物レンズに入射される入射光を発生する光源と、前記焦点からの反射光が前記対物レンズの焦点面に形成する暗環像を伴う焦点面結像における光強度を検出する光検出手段と、前記入射光及び前記透光性基板の相対的位置を変更させて前記入射光が前記透光性基板の表面を走査するようにした入射光走査手段とを備える表面プラズモン顕微鏡において、前記入射光の走査位置と関連付けて前記焦点面結像の光強度を前記光検出手段により検出することにより、前記暗環像の保有情報を取得する構成としたことを特徴とする表面プラズモン顕微鏡。

IPC (5件)：

G01N 21/27 ZNA , G02B 21/00 , G01B 11/24 , G01N 13/14 , G01N 33/543 595

FI (5件)：

G01N 21/27 ZNA C , G02B 21/00 , G01N 13/14 A , G01N 33/543 595 , G01B 11/24 A

Fターム (58件)：

2F065AA54 , 2F065DD03 , 2F065DD04 , 2F065DD09 , 2F065DD12 , 2F065FF42 , 2F065FF46 , 2F065FF67 , 2F065GG05 , 2F065GG17 , 2F065HH08 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ01 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ18 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL00 , 2F065LL05 , 2F065LL09 , 2F065LL30 , 2F065LL36 , 2F065LL47 , 2F065MM02 , 2F065MM23 , 2F065PP24 , 2F065QQ01 , 2G059AA05 , 2G059BB12 , 2G059BB20 , 2G059CC16 , 2G059EE02 , 2G059EE04 , 2G059EE05 , 2G059FF01 , 2G059FF03 , 2G059GG01 , 2G059GG02 , 2G059GG04 , 2G059JJ11 , 2G059JJ12 , 2G059JJ13 , 2G059JJ19 , 2G059JJ20 , 2G059KK01 , 2G059KK03 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059NN06 , 2H052AA07 , 2H052AC04 , 2H052AC06 , 2H052AC15 , 2H052AC27 , 2H052AC34

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