特許
J-GLOBAL ID：200903051574602954
静電チャックの基板脱着方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-337397
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175318
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 本発明は半導体基板を保持する静電チャックの構造に関し,半導体基板を静電チャックより脱着する際の局所放電の防止を目的とする。【構成】 基板1の吸着領域に設けられた貫通孔3から突出して, 該基板1を該静電チャック2から脱着する機能を有するリフトピン4の構造が,外囲を絶縁体5で被覆した導電体5からなり,該基板1を該静電チャック2より脱着するに際して,該基板1上に帯電した電荷と同じ種類の電荷が, 該絶縁体5上に帯電するように, 該導電体6に該基板1上に帯電した電位とほぼ同じ電位を与えるように構成する。
請求項（抜粋）：
基板(1) を静電気により吸着する静電チャック(2) において,該基板(1) の吸着領域に設けられた貫通孔(3) から突出して, 該基板(1) を該静電チャック(2) から脱着する機能を有するリフトピン(4) の構造が,外囲を絶縁体(5) で被覆した導電体(6) からなり,該基板(1) を該静電チャック(2) より脱着するに際して,該基板(1) 上に帯電した電荷と同じ種類の電荷が, 該絶縁体(5) 上に帯電するように, 該導電体(6) に該基板(1) 上に帯電した電位とほぼ同じ電位を与えることを特徴とする静電チャックの基板脱着方法。
IPC (2件)：
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