特許

J-GLOBAL ID：200903051575666298

導電膜除去方法及びその方法を用いた薄膜太陽電池

発明者： 福岡 裕介 ,  三宮 仁
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-031320
公開番号（公開出願番号）：特開2000-225547
出願日： 1999年02月09日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】 完全な絶縁分離部分を形成した導電性ガラス基板を作成し、絶縁分離部の加工時間を短縮させる。【解決手段】 表面全体に一定膜厚の導電膜が形成されているガラス基板をステージに保持する工程と、回転可能な研磨治具を有する研磨装置を用いてガラス基板の外周部を一定深さ研磨する工程と、ステージに保持されたガラス基板を水平往復移動させる工程とを含み、ガラス基板の外周部から所定幅の導電膜を機械的に除去する。

請求項（抜粋）：

表面全体に一定膜厚の導電膜が形成されているガラス基板をステージに保持する工程と、回転可能な研磨治具を有する研磨装置を用いてガラス基板の外周部を一定深さ研磨する工程と、ステージに保持されたガラス基板を水平往復移動させる工程とを含み、ガラス基板の外周部から所定幅の導電膜を機械的に除去することを特徴とする導電膜除去方法。

IPC (2件)：

B24B 7/24 ,  H01L 31/04

FI (2件)：

B24B 7/24 Z ,  H01L 31/04 B

Fターム (12件)：

3C043BB05 ,  3C043CC03 ,  3C043CC07 ,  3C043CC11 ,  3C043CC13 ,  5F051DA04 ,  5F051EA05 ,  5F051EA09 ,  5F051EA10 ,  5F051EA13 ,  5F051FA02 ,  5F051GA03