特許
J-GLOBAL ID：200903051579791216
耐ガス腐食性及び耐プラズマ性に優れた真空チャンバ部材用材料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-066232
公開番号（公開出願番号）：特開平8-260088
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：
【要約】【目的】 CVD装置,PVD装置,ドライエッチング装置などに用いられる真空チャンバ部材用材料であって、真空チャンバ内に導入される腐食性のガスやプラズマに対して優れた耐食性を発揮する真空チャンバ部材用材料を提供する。【構成】 本発明の真空チャンバ部材用材料は、Al合金からなり、晶出物及び析出物の平均粒径が10μm以下であることを特徴とする。上記粒径制御の代わりに、晶出物及び析出物が、部材表面中最大面積を有する部材表面に対して平行に配列される様に調整されたAl合金材料を用いてもよい。更に、晶出物及び析出物の前記粒径制御と上記配列方向の制御を組み合わせることによって一層耐食性に優れたAl合金材料を得ることができる。前記晶出物及び析出物の体積分率としては、2%以下であることが推奨される。
請求項（抜粋）：
Al合金からなり、晶出物及び析出物の平均粒径が10μm以下であることを特徴とする耐ガス腐食性及び耐プラズマ性に優れた真空チャンバ部材用材料。
IPC (6件)：
C22C 21/00
, B01J 19/08
, C23C 14/24
, C23C 16/44
, C23F 4/00
, C30B 25/08
C22C 21/00 Z
, B01J 19/08 E
, C23C 14/24 A
, C23C 16/44 B
, C23F 4/00 Z
, C30B 25/08
