クリーンルーム

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-195934
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018576
出願日： 1991年07月10日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】ファンフイルタユニット14、16、18から清浄エアを効率良く吹き出して清浄エアの搬送費用を低減することができるクリーンルーム10を提供する。【構成】半導体製造装置24、26の稼働状態を検知するセンサ38、44を半導体製造装置24、26に取付けると共に、クリーンルーム10で作業する作業者66の位置を感知するセンサ64を半導体製造装置24、26に取付け、そして前記センサ38、44から出力された製造装置24、26の稼働している状態を示す信号がコントローラ34、40に入力されると、コントローラ34、40がその製造装置24、26の上方にあるファンフイルタユニット14、18のファン30、30の回転数を高くし、また、センサ60から出力された作業者62の位置を感知した信号がコントローラ66に入力されると、コントローラ66がその作業者62の上方にあるファンフイルタユニット16のファン30の回転数を高くする。

請求項（抜粋）：

空調装置からクリーンルームの天井室に供給された清浄エアを、天井面に配設された複数のファンフイルタユニットで加圧してクリーンルームに吹き出し、クリーンルームの床面から排気するクリーンルームに於いて、前記ファンフイルタユニットから吹き出される清浄エアの気流速度は、クリーンルームに設置された製造装置の稼働状態に応じて自動制御されたことを特徴とするクリーンルーム。

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