特許

J-GLOBAL ID：200903051586103767

研磨装置及び研磨方法

発明者： 内芝 栄士郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-047299
公開番号（公開出願番号）：特開平9-239645
出願日： 1996年03月05日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：

【要約】【課題】 光学素子のうねりを効率良く除去する。【解決手段】 ボイスコイルモータ38により、光学素子10の研磨面11に対して垂直方向に、研磨工具20を振動数30Hz以下で振動させる。すると、光学素子10のうねりに対して研磨工具20が倣うことがなく、うねりの凸部が積極的に研磨され、うねりが効率良く除去される。

請求項（抜粋）：

研磨工具を光学素子に接触させつつ相対移動させて、該光学素子を研磨する研磨装置において、前記光学素子の研磨面に対して垂直方向成分を有する方向に、前記研磨工具を振動数30Hz以下で振動させる加振手段を備えていることを特徴とする研磨装置。