特許
J-GLOBAL ID：200903051586239316
縦型拡散・CVD装置用のウェーハカセット給排装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177493
公開番号（公開出願番号）：特開平5-338732
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】コンパクトで而も作業能率のよいウェーハカセット給排装置を提供する。【構成】ウェーハ41が装填されるカセット5を水平方向に進退させるカセット進退ユニット16を昇降可能に設け、該カセット進退ユニットにカセットを載置可能で且カセットを起伏可能なカセット回転ユニット17を設け、カセット回転ユニットによってカセットの姿勢を変え、カセット進退ユニットの昇降、進退作動によってカセットを所要の位置に移載する。
請求項（抜粋）：
ウェーハが装填されるカセットを水平方向に進退させるカセット進退ユニットを昇降可能に設け、該カセット進退ユニットにカセットを載置可能で且カセットを90°回転可能なカセット回転ユニットを設けたことを特徴とする縦型拡散・CVD装置用のウェーハカセット給排装置。
IPC (4件)：
B65G 1/06
, H01L 21/205
, H01L 21/22
, H01L 21/68
