特許

J-GLOBAL ID：200903051587918128

投影型X線顕微鏡

発明者： 吉村 英恭
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団 ,  学校法人明治大学
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-329645
公開番号（公開出願番号）：特開2003-131000
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2003年05月08日
要約：

【要約】【課題】 実験室レベルで簡便に利用可能であり、かつ、高い分解能を持つX線顕微鏡を提供する。【解決手段】 電子ビームをX線ターゲットに照射しX線を発生せしめ、発生したX線を試料に投影し、試料のX線透過像を撮像する投影型X線顕微鏡において、X線ターゲットが軽元素膜と軽元素膜上に固定された金属片とからなり、X線ターゲットを構成する金属片上方に電子ビームに照射することで金属片下方における径が数十nmの範囲の領域からX線を発生する。

請求項（抜粋）：

電子ビームをX線ターゲットに照射することでX線を発生し、発生したX線を試料に投影し、試料のX線透過像を撮像する投影型X線顕微鏡において、X線ターゲットが軽元素膜と軽元素膜上に固定された金属片とからなり、X線ターゲットを構成する金属片上方に電子ビームに照射することで金属片下方における径が数十nmの範囲の領域からX線を発生することを特徴とする投影型X線顕微鏡。

IPC (3件)：

G21K 7/00 ,  G21K 5/08 ,  H01J 35/08

FI (3件)：

G21K 7/00 ,  G21K 5/08 X ,  H01J 35/08 A