特許
J-GLOBAL ID：200903051593911976
表面処理方法及び光学部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
田村 敬二郎
, 小林 研一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-164544
公開番号（公開出願番号）：特開2004-070301
出願日： 2003年06月10日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】処理される面形状に関わらず、より均一な成膜を行える表面処理方法及びそれにより成膜される光学部品を提供する。【解決手段】大気圧プラズマ法により光学部品の基材の曲面上にコーティング膜を形成するので、基材の成膜面が曲面であっても、より均一厚さ及び特性の膜を形成でき、しかも従来技術のごとく、基材を回転する必要もなく、或いは基材を真空雰囲気におく必要もないため、設備コストを低く抑えることができるから製造コストが低減されると共に処理効率が向上する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
曲面と凹凸形状の少なくとも一方を有する基材に対してコーティング膜を形成する表面処理方法であって、大気圧下でプラズマ処理を行って記曲面と前記凹凸形状の少なくとも一方上にコーティング膜を形成することを特徴とする表面処理方法。
IPC (3件)：
G02B1/10
, C23C16/505
, G02B1/11
G02B1/10 Z
, C23C16/505
, G02B1/10 A
2K009AA02
, 2K009AA15
, 2K009BB02
, 2K009BB11
, 2K009CC03
, 2K009DD01
, 2K009DD04
, 2K009EE02
, 2K009EE03
, 2K009EE05
, 4K030CA07
, 4K030FA03
, 4K030JA09
, 4K030LA01
, 4K030LA11
