特許
J-GLOBAL ID：200903051595125390
湿度発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-230601
公開番号（公開出願番号）：特開平5-071776
出願日： 1991年09月10日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【目的】 第1に、分流法に基づいて目標湿度を得ることができ、しかも、従来分流法では目標湿度発生部へ直接導いていた分流後の乾燥気体を低露点飽和気体発生槽を経て目標湿度発生部へ導くことで、その露点を制御できるようにし、それによって正確で、安定した湿度発生を達成できる湿度発生装置を提供する。第2に、分流法に基づく湿度発生又は二温度法に基づく湿度発生を任意に選択できる湿度発生装置を提供する。【構成】 試験槽1、高露点飽和気体発生槽2、低露点飽和気体発生槽3、第1の流量制御手段(弁SV1、流量計F1)、第2の流量制御手段(弁SV2、流量計F2)、乾燥空気を前記第1の流量制御を経て槽2へ導き、高露点飽和気体として試験槽1へ導く管41、42、44、46、及び乾燥空気を前記第2の流量制御手段を経て槽3へ導き、低露点飽和気体として試験槽1へ導く管41、43、45、46を備えた湿度発生装置。
請求項（抜粋）：
目標湿度発生部、高露点飽和気体発生槽、低露点飽和気体発生槽、第1の流量制御手段、第2の流量制御手段、乾燥気体を前記第1の流量制御手段を経て前記高露点飽和気体発生槽へ導き、高露点飽和気体として前記目標湿度発生部へ導く第1の気体通路、及び乾燥気体を前記第2の流量制御手段を経て前記低露点飽和気体発生槽へ導き、低露点飽和気体として前記目標湿度発生部へ導く第2の気体通路を備えたことを特徴とする湿度発生装置。
IPC (4件)：
F24F 6/02
, F24F 6/00
, G05D 22/00
, G05D 27/00
