特許

J-GLOBAL ID：200903051596123499

固体撮像装置及びその製造方法

発明者： 小塚 開 ,  山野辺 正人 ,  須川 成利
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-321410
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198787
出願日： 1992年11月06日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、暗電流を抑えてSN比の大きな信号が得られ、しかも高解像度で撮像が行える固体撮像装置、及び製造工程が簡略化され、歩留りが高くなるような構成の固体撮像装置の製造方法を提供することにある。【構成】 電荷を蓄積可能な電荷蓄積部302と、前記蓄積部302に蓄積された電荷に基づいて信号を出力する為の出力回路303と、を備えた基体301と、前記基体の表面上に設けられ、前記電荷蓄積部上に開孔を有する絶縁膜304と、前記絶縁膜304上に設けられ、前記開孔を介して前記電荷蓄積部302に電気的に接続された感光層306と、を具備する固体撮像装置において、前記開孔内には埋込領域305が形成されており、前記絶縁膜304の表面と前記埋込領域305の表面とは実質的に平坦化されていることを特徴とする固体撮像装置。

請求項（抜粋）：

電荷を蓄積可能な電荷蓄積部と、前記蓄積部に蓄積された電荷に基づいて信号を出力する為の出力回路と、を備えた基体と、前記基体の表面上に設けられ、前記電荷蓄積部上に開孔を有する絶縁膜と、前記絶縁膜上に設けられ、前記開孔を介して前記電荷蓄積部に電気的に接続された感光層と、を具備する固体撮像装置において、前記開孔内には埋込領域が形成されており、前記絶縁膜の表面と前記埋込領域の表面とは実質的に平坦化されていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

H01L 27/146 ,  H01L 31/107

FI (2件)：

H01L 27/14 E ,  H01L 31/10 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-066965
  
• 特開平3-278482
  
• 特開昭60-206064