特許
J-GLOBAL ID：200903051597712145
ターボ真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-000158
公開番号（公開出願番号）：特開平10-196586
出願日： 1997年01月06日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】ロータとステータの細隙部に生成物が固着した場合でも、小さい起動トルクで、ポンプの再起動を可能とするターボ真空ポンプを提供する。【解決手段】ロータ1に設けられた遠心圧縮ポンプ段4aは吸気口6側に、円周流圧縮ポンプ段4bは排気口12側に配置されている。そして、円周流圧縮ポンプ段4bは、該円周流圧縮ポンプ段4bからステータ2の複数段の気体流路内に突出した複数段の円板16の各両面に羽根部15を形成し、かつ羽根部15の内径を円周流圧縮ポンプ段4bのボス径とほぼ等しく構成している。これにより、ロータ1とステータ2の細隙部の対向面積が最小となり、生成物14が固着する固着面積を減らし、低トルクでロータ回転の再起動を可能としている。
請求項（抜粋）：
吸気口と排気口を有するハウジングと、該ハウジング内に固定されたステータと、該ステータに対向し第1の圧縮ポンプ段と第2の圧縮ポンプ段が設けられたロータとを有し、前記ロータが回転することにより、前記吸気口から吸込まれた気体を前記排気口から排気するターボ真空ポンプにおいて、前記第1の圧縮ポンプ段は前記吸気口側に、前記第2の圧縮ポンプ段は前記排気口側に設けられ、前記第2の圧縮ポンプ段は、該第2の圧縮ポンプ段から前記ステータの複数段の気体流路内に突出した複数段の円板の各両面に羽根部を形成し、かつ前記羽根部の内径が前記第2の圧縮ポンプ段のボス径とほぼ等しく構成されていることを特徴とするターボ真空ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04D 19/04 D
, F04D 23/00 A
