特許
J-GLOBAL ID:200903051597987306
筒形ターゲット体の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
吉田 和夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-300351
公開番号(公開出願番号):特開平6-122974
出願日: 1992年10月12日
公開日(公表日): 1994年05月06日
要約:
【要約】【目的】 高密度で性能良好な円筒形状のターゲット体を工業的に製造できる方法を提供する。【構成】 筒形状の成形空間内に粉末状等のターゲット材料18を充填し、これを熱間等方加圧処理して該ターゲット材料18を高温高圧下で焼結ないし拡散接合反応させて一体化する。
請求項(抜粋):
筒形状の成形空間内に粉末状等のターゲット材料を充填し、これを熱間等方加圧処理して該ターゲット材料を高温高圧下で焼結ないし拡散接合反応させて一体化することを特徴とする筒形ターゲット体の製造方法。
IPC (2件):
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