特許
J-GLOBAL ID：200903051600164367
レーザ光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高崎 芳紘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-333221
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181354
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 単一のレーザ源によって複数のレーザビームを時分割に分配させたい。【構成】 切替ミラー3A〜3Cは、チョッパ形式のものであり、この切替ミラー3A〜3Cの回転角度を制御して、必ずいずれか1つの全反射部から単一のレーザ源からのレーザビームを放出させる。これによって、時分割で3つの切替ミラー3A〜3Cから、レーザビームa、b、cが放出する。又最後尾にベンディングミラー5を設けておくことで、更にレーザビームdの放出が可能になる。
請求項（抜粋）：
光軸が互いに一致するように直線状に配置された、円周方向に区分された反射面と透過面とを持つ回転可能な、複数個の切替ミラーと、この切替ミラーへ光軸方向からレーザ光を放出するレーザ源と、上記複数個の切替ミラーの反射面の1つからレーザ光を放出すべく、切替ミラーの回転を制御する制御手段と、より成るレーザ光学装置。
IPC (4件)：
H01S 3/101
, B23K 26/06
, G02B 7/198
, H01L 23/50
