特許
J-GLOBAL ID:200903051603135694
弾性表面波伝搬状態計測装置、弾性表面波伝搬状態計測方法、環境変化計測装置、環境変化計測方法及び多重周回弾性表面波素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (8件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-251088
公開番号(公開出願番号):特開2007-064790
出願日: 2005年08月31日
公開日(公表日): 2007年03月15日
要約:
【課題】多重周回弾性表面波素子における周波数変化量を高精度に算出する。【解決手段】周波数変化量算出装置20は、共振状態における弾性表面波の参照強度と参照位相とを含む参照信号のデータ及びこの弾性表面波を励起するための参照周波数を予め記憶する記憶部23と、高周波バースト信号の搬送周波数を調整して共振周波数にするための共振調整部24と、検出信号の位相である検出位相と参照位相との差が一定となるように、高周波バースト信号の搬送周波数を調整するための波形調整部25と、両者の位相差が一定となるとき、波形調整部25により調整された搬送周波数と参照周波数との差分を算出する算出部26とを備える。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
搬送周波数を有する高周波バースト信号の入力により伝搬面を多重周回する弾性表面波が励起される多重周回弾性表面波素子に接続され、前記弾性表面波素子からの出力周波数の変化量を計測する弾性表面波伝搬状態計測装置であって、
前記多重周回弾性表面波素子に、前記高周波バースト信号を入力する入力手段と、
前記入力の後、前記伝搬面を多重周回する弾性表面波を検出し、得られた検出信号を出力する出力手段と、
前記伝搬面を弾性表面波が1周回するのに要する周回時間に占める前記搬送周波数における1周期の割合が整数分の1となる共振状態に関し、当該共振状態における弾性表面波の参照位相を含む参照信号のデータ及びこの弾性表面波を励起するための参照周波数を予め記憶する記憶手段と、
前記弾性表面波の検出信号を共振状態にするように、前記高周波バースト信号の搬送周波数を調整して共振周波数にするための第1調整手段と、
前記第1調整手段による調整の後、前記出力手段から出力された検出信号の位相である検出位相と前記記憶手段に記憶された参照位相との差が一定となるように、前記高周波バースト信号の搬送周波数を調整するための第2調整手段と、
前記第2調整手段による調整の結果、両者の位相差が一定となるとき、前記第2調整手段により調整された搬送周波数と前記記憶手段に記憶された参照周波数との差分を算出する算出手段と
を備えたことを特徴とする弾性表面波伝搬状態計測装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N29/04 501
, G01N29/24
Fターム (16件):
2G047AA01
, 2G047BA04
, 2G047BB00
, 2G047BC04
, 2G047CA01
, 2G047CB03
, 2G047EA10
, 2G047GB15
, 2G047GB38
, 2G047GF08
, 2G047GF11
, 2G047GG20
, 2G047GG29
, 2G047GG33
, 5J097EE01
, 5J097HB09
引用特許:
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