特許

J-GLOBAL ID：200903051604553775

イオンビーム発生装置

発明者： 永山 勉
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-018607
公開番号（公開出願番号）：特開2001-210246
出願日： 2000年01月27日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】 常温で液体または固体の原料物質を用いてイオンビームを発生させるものであって、所望のイオン種のイオンビームを効率良く、かつ安定して、しかも広いダイナミックレンジで発生させることのできるイオンビーム発生装置を提供する。【解決手段】 このイオンビーム発生装置は、常温で液体または固体の原料物質が収納された原料ガス源2と、それを設定温度T0 に加熱して内部の原料物質を気化させて原料ガス4を発生させる温度調節器10と、二次側の原料ガス4の圧力P2 を設定圧力に保持する圧力調節器24と、原料ガス4の流量Qを設定流量に保持する流量調節器26と、それから供給される原料ガス4を電離させてイオンビーム22を発生させるイオン源20とを備えている。更に、原料ガス源2から導出される原料ガス4の圧力P1 を検出する圧力センサ28と、それからの圧力信号PSに応答して温度調節器10の設定温度T0 を変化させて、原料ガス源2から導出される原料ガス4の圧力P1 を設定値に対して一定範囲内に保持する制御装置30とを備えている。

請求項（抜粋）：

常温で液体または固体の原料物質が収納された原料ガス源と、この原料ガス源を設定温度に加熱してその内部の前記原料物質を気化させて原料ガスを発生させる温度調節器と、前記ガス源から供給される前記原料ガスを通すものであって二次側の原料ガスの圧力を設定圧力に保持する圧力調節器と、この圧力調節器から供給される原料ガスを通すものであって当該原料ガスの流量を設定流量に保持する流量調節器と、この流量調節器から供給される前記原料ガスを電離させてイオンビームを発生させるイオン源と、前記原料ガス源から導出される前記原料ガスの圧力を検出する圧力センサと、この圧力センサからの圧力信号に応答して前記温度調節器の設定温度を変化させて、前記原料ガス源から導出される前記原料ガスの圧力を設定値に対して一定範囲内に保持する制御装置とを備えることを特徴とするイオンビーム発生装置。

IPC (5件)：

H01J 27/02 ,  C23C 14/48 ,  H01J 37/08 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265 603

FI (5件)：

H01J 27/02 ,  C23C 14/48 Z ,  H01J 37/08 ,  H01J 37/317 Z ,  H01L 21/265 603 A

Fターム (9件)：

4K029BD01 ,  4K029DE02 ,  5C030DD04 ,  5C030DD05 ,  5C030DE05 ,  5C030DG09 ,  5C034CC01 ,  5C034CD02 ,  5C034CD07