圧電センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森下武一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-031162
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230980
出願日： 1998年02月13日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】構造が簡単で小型であり、生産性の良好な圧電センサを得る。【解決手段】短冊形状の圧電体基板22は、上面の幅方向の中央部に設けた溝23により形成されたギャップgにより相互に分離された二つの分割電極24,25を有し、下面には対向電極26を有している。圧電体基板22は、対向電極26から分割電極24,25に向かう方向に分極されている。圧電体基板22は、外装ケース31に収容されている。外装ケース31の内側壁に設けた一対の突起33,34は、それぞれ圧電体基板22の両側面の中央部を保持している。

請求項（抜粋）：

圧電体基板に印加される外力に応じて前記圧電体基板に発生する電圧に基づいて前記外力を検出する圧電センサにおいて、前記圧電体基板の表面に設けられ、かつ、前記圧電体基板の一端から他端に到るギャップにより互いに分割された分割電極と、前記圧電体基板の分割電極に対向して前記圧電体基板の裏面に設けられた対向電極とを備え、前記ギャップの長手方向に対して直角な方向の前記外力の成分を検出することを特徴とする圧電センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/09 , G01L 1/16 , H01L 41/08

FI (3件)：

G01P 15/09 , G01L 1/16 , H01L 41/08 Z

引用特許：

出願人引用 (8件)

加速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-005511 出願人：株式会社トーキン
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-023618 出願人：ティーディーケイ株式会社
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-020052 出願人：株式会社トーキン

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審査官引用 (5件)

加速度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-005511 出願人：株式会社トーキン
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-023618 出願人：ティーディーケイ株式会社
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-020052 出願人：株式会社トーキン

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