被処理物の酸化方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-291999
公開番号（公開出願番号）：特開平7-196303
出願日： 1994年11月02日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】高濃度のオゾンを生成することにより処理スピードの速い被処理物の酸化方法を提供することにある。【構成】キセノンガスを封入した誘電体バリア放電ランプ100から放射される真空紫外光を酸素を含む流体に照射することにより、光化学反応によってオゾンと活性酸化性分解物を生成せしめ、このオゾンと活性酸化性分解物を被処理物9の表面に接触させることにより被処理物9の表面を酸化することを特徴とする。また、遠紫外光光源を併用することによりかかる放射光によっても活性酸化性分解物を生成せしめ、かつその活性度を高めることによりより一層の処理速度を上げることができる。

請求項（抜粋）：

キセノンガスを封入した誘電体バリヤ放電ランプから放射される真空紫外光を酸素を含む流体に照射させて、光化学反応によってオゾンおよび活性酸化性分解物を生成せしめ、このオゾンおよび活性酸化性分解物を被処理物に接触させて酸化させることを特徴とする被処理物の酸化方法。

IPC (5件)：

C01B 13/14 , B01J 19/12 , B05D 3/06 102 , B08B 7/00 , C01B 13/10

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