特許
J-GLOBAL ID：200903051630997002
分子線セル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-189729
公開番号（公開出願番号）：特開平9-022873
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【目的】 るつぼ係止固定構造の簡素化、るつぼ着脱の容易化を図ること。【構成】 るつぼ2は鍔部2aを有し、るつぼの周囲には円筒状の熱反射板4が設けられている。外側の熱反射板4’はるつぼの開口部位置より先端部が延出し、この先端部の周囲には適数個のピン挿通孔20が形成されている。るつぼの鍔部の上にはるつぼの開口径と同じ開口をもつドーナツ状の熱反射板21が載っている。熱反射板4’における二つのピン挿通孔を通して押えピン22が配置され、ドーナツ状の熱反射板21を介してるつぼの鍔部を押える。ドーナツ状の熱反射板を用いずに、押えピンで直接、るつぼの鍔部を押えてもよい。
請求項（抜粋）：
開口部に鍔部を持つるつぼと、このるつぼの周囲に設けられた円筒状の熱反射板であって、前記るつぼの開口部位置より先端部が延出し、この先端部の周囲に適数個のピン挿通孔が形成されている熱反射板と、この熱反射板における二つの前記ピン挿通孔を通して配置され、前記るつぼの鍔部を押える押えピンとを備えてなることを特徴とする分子線セル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/203 M
, C30B 23/08 M
