特許
J-GLOBAL ID:200903051637778802

光学式変位測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石田 長七 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-200882
公開番号(公開出願番号):特開平6-042958
出願日: 1992年07月28日
公開日(公表日): 1994年02月18日
要約:
【要約】【目的】異常発生時点で遅滞なくその時点の測定値を保持する光学式変位測定装置を提供する。【構成】発光素子11は物体の表面に投光スポットを形成し、位置検出素子14は受光スポットの位置に対応して出力レベルの比率が決まる一対の位置信号I1,I2 を出力する。誤差増幅器29は加算器26で位置信号I1 ,I2 を加算して求めた受光光量と規定の基準値との差を求める。この差を積分する積分器23の出力に基づいて発光素子11の発光光量をフィードバック制御する。減算器25は位置信号I1 ,I2 の差を求め、この差を変位に比例する値として出力する。サンプル・ホールド回路30は、論理回路33を通してホールド信号が入力されると、その時点の減算器25の出力値を保持する。論理回路33は、誤差増幅器29の出力に基づいて異常の発生を検出する。
請求項(抜粋):
点状の光パターンである投光スポットを物体の表面に照射する投光手段と、投光手段から照射された光の物体表面での反射光を受光光学系に通して収束させ投光スポットの像として形成された受光スポットの位置に対応して出力レベルの比率が決まる一対の位置信号を出力する受光手段と、各位置信号の出力レベルの差を演算する減算手段と、受光手段での受光光量と既定の基準値との差を求める誤差増幅器および誤差増幅器の出力を平均化する積分器を備えていて積分器の出力値に基づいて受光光量が略一定に保たれるように投光手段の発光光量をフィードバック制御する光量制御手段と、外部からホールド信号が入力された時点の減算手段の出力値を保持するサンプル・ホールド手段と、誤差増幅器の出力値が既定の許容範囲外であるとホールド信号を発生するホールド信号発生手段とを具備して成ることを特徴とする光学式変位測定装置。
IPC (2件):
G01C 3/06 ,  G01B 11/00

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