特許

J-GLOBAL ID：200903051639890901

切断用加工液

発明者： 森 和 幸
出願人/特許権者： 株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-373840
公開番号（公開出願番号）：特開2000-198995
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 循環使用した場合においても切断性能の安定性が高い切断用加工液および切断用組成物、ならびに生産性の高い固体材料の切断方法の提供。【解決手段】 エチレングリコールまたはプロピレングリコールの少なくとも1種類、および沈降防止剤を含んでなる切断用加工液、前記切断用加工液と研磨材とを含んでなる切断用組成物、ならびにそれらを用いた固体材料の切断方法。

請求項（抜粋）：

エチレングリコールまたはプロピレングリコールの少なくとも1種類、および沈降防止剤を含んでなること、を特徴とする切断用加工液。

IPC (9件)：

C10M173/00 ,  B28D 5/04 ,  H01L 21/304 611 ,  C10M129:08 ,  C10M125:30 ,  C10M145:14 ,  C10M145:26 ,  C10N 20:02 ,  C10N 40:22

FI (3件)：

C10M173/00 ,  B28D 5/04 C ,  H01L 21/304 611 W

Fターム (29件)：

3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB04 ,  3C069CA04 ,  3C069DA01 ,  3C069DA06 ,  3C069DA07 ,  3C069EA01 ,  3C069EA02 ,  4H104AA13C ,  4H104AA21C ,  4H104AA24C ,  4H104BB04A ,  4H104BB04C ,  4H104BB42A ,  4H104BB42C ,  4H104BE02C ,  4H104CB06C ,  4H104CB15A ,  4H104CB15C ,  4H104CE03C ,  4H104EA17A ,  4H104EA17C ,  4H104FA03 ,  4H104FA04 ,  4H104LA01 ,  4H104LA20 ,  4H104QA02 ,  4H104RA01