特許

J-GLOBAL ID：200903051642068473

流量計の校正方法

発明者： 高橋 千晴
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院計量研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-225549
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062024
出願日： 1994年08月26日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 分流法湿度発生装置において、適正な湿度雰囲気が得られるような流量計の校正・制御を行う。【構成】 乾燥空気供給路1に設けた供給流量計測手段4と、第1分岐流路2aに設けた第1分岐流量計測・制御手段5aと、第2分岐流路2bに設けた第2分岐流量計測・制御手段5bとから、各々取得した流量値に基づいて、計算機8が各流量計の器差を求め、この器差を考慮した流量値となるように、流量制御ユニット11,11が第1,第2分岐流量計測・制御手段5a,5bの流量を制御する。

請求項（抜粋）：

基準流路に配設した流量計と該基準流路と連通する複数の分岐流路に各々配設した複数の流量計とから夫々流量値を取得し、各流量計の流量値を比較することに基づいて各流量計の相対的な器差を求めるようにしたことを特徴とする流量計の校正方法。