大気圧プラズマ処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049791
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265864
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】本発明は、大気圧プラズマ処理装置に関し、接着力が弱い被処理物の表面の改質と該被処理物の表面に薄膜を形成する作業を同時に行なうことができ、シール部材等の接着力を向上させることができる大気圧プラズマ処理装置を提供を目的としている。【構成】両端部にカールを有するロゴウスキー形状に形成されるとともに、その電極表面の一方に有機材料あるいは無機酸化物が被膜された放電電極3a、3bを用い、大気圧下でPF6の表面をプラズマ処理するのと同時に該表面に薄膜を形成することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

対向する一対の放電電極を有し、大気圧下でプラズマを発生させて被処理物をプラズマ処理する大気圧プラズマ処理装置において、前記放電電極を両端部にカールを有するロゴウスキー形状に形成するとともに、その電極表面の少なくとも一方に有機材料あるいは無機酸化物を被膜し、不活性ガス下で放電電極に電圧を印加することにより、被処理物の表面をプラズマ処理するのと同時に該表面に薄膜を形成することを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-358076
特開平3-241739
特開平1-274347

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