金属除去液及びこれを用いた金属除去方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-242495
公開番号（公開出願番号）：特開2008-106354
出願日： 2007年09月19日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：

【課題】銅を浸食(アタック)せずにパラジウム、スズ、銀、パラジウム合金、銀合金及びスズ合金等の除去性が高く、有害物質を含まないため取り扱い容易なパラジウム、スズ、銀、パラジウム合金、銀合金及びスズ合金を選択的に除去できる金属除去液及びこれを用いた除去方法を提供する。【解決手段】本発明の金属除去液は、パラジウム、スズ、銀、パラジウム合金、銀合金及びスズ合金を除去する溶液であって、前記金属除去液には鎖状チオカルボニル化合物を含む。本発明のパラジウム、スズ、銀、パラジウム合金、銀合金及びスズ合金の除去方法は、鎖状チオカルボニル化合物を含む金属除去液を使用して、銅又は銅合金と、パラジウム、スズ、銀、パラジウム合金、銀合金及びスズ合金から選ばれる少なくとも1つの金属を含む系から銅又は銅合金以外の金属を選択的に除去する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

パラジウム、スズ、銀、パラジウム合金、銀合金及びスズ合金を除去する金属除去液であって、前記金属除去液には鎖状チオカルボニル化合物を含むことを特徴とする金属除去液。

IPC (5件)：

C23C 18/16 , C23F 1/00 , C23F 1/14 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (5件)：

C23C18/16 Z , C23F1/00 103 , C23F1/14 , H05K3/06 M , H05K3/18 B

Fターム (34件)：

4K022AA02 , 4K022AA42 , 4K022BA08 , 4K022BA21 , 4K022BA35 , 4K022CA06 , 4K022CA18 , 4K022CA20 , 4K022CA21 , 4K022DA01 , 4K022EA04 , 4K057WA01 , 4K057WB04 , 4K057WE11 , 4K057WG01 , 4K057WG02 , 4K057WG03 , 4K057WN01 , 5E339AB02 , 5E339AD01 , 5E339BC02 , 5E339BE13 , 5E339BE17 , 5E339GG02 , 5E343AA15 , 5E343AA17 , 5E343BB24 , 5E343CC71 , 5E343CC73 , 5E343DD33 , 5E343EE02 , 5E343EE16 , 5E343FF23 , 5E343GG11

引用特許：

出願人引用 (13件)

特開昭63-72198号公報
特開平2-274825号公報
特開平1-129491号公報

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審査官引用 (8件)

エッチング液、その補給液、それらを用いるエッチング方法及び配線基板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-319436 出願人：メック株式会社
エッチング液と補給液及びこれを用いた導体パターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-356551 出願人：メック株式会社
特開平2-250986

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