特許
J-GLOBAL ID:200903051651677440
集積型光学装置及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
池内 寛幸 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-209259
公開番号(公開出願番号):特開平7-064024
出願日: 1993年08月24日
公開日(公表日): 1995年03月10日
要約:
【要約】【目的】 透過型回折光学素子と反射型回折光学素子と基板の同一主面上に具備する集積型光学装置の加工精度及び光学特性の改良、及びそれに適する製造方法を提供する。【構成】 基板1の主面1a上に第2の樹脂により反射型回折光学素子3、4、5を形成し、これらの光学素子3、4、5の表面に反射層6aを形成する。さらに光学素子3、4、5を覆うように第2の樹脂とは異なる性質の第1の樹脂層7を設け、光学素子3、4、5を形成した位置とは異なる位置に、第1の樹脂7により透過型光集光レンズ2を形成する。また、基板1の裏面1bに半導体レーザ13、光検出器14及び反射層6bを設ける。
請求項(抜粋):
透過型回折光学素子及び反射型回折光学素子をそれぞれ基板の同一の主面上の異なる位置に設けた集積型光学装置であって、前記透過型回折光学素子は第1の樹脂で形成され、前記反射型回折光学素子は前記第1の樹脂とは異なる第2の樹脂で形成されたことを特徴とする集積型光学装置。
IPC (4件):
G02B 27/42
, G02B 5/18
, G02B 6/34
, G11B 7/135
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