塗布装置及び塗布方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-158151
公開番号（公開出願番号）：特開平5-006855
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】塗布液の塗布装置及び塗布方法に係り、特にウエーハにレジストを塗布する装置及び塗布方法の改良に関し、簡単な構造のシャッタをウエーハチャックの回転軸の周囲に設け、このシャッタの開度の調整により回転軸とカップとの間隙から吸い込まれる空気量を調節することを目的とする。【構成】被塗布基板5を搭載するウエーハチャック2と、この被塗布基板5の表面に塗布液を滴下するノズル3と、このウエーハチャック2の周囲に配設されたこのウエーハチャック2の周囲の空気の流れを整流する整流板1a及びこの空気を排気する排気口1bと、このウエーハチャック2の周囲を包囲するカップ1と、このカップ1に飛着した塗布液を排出する排液口1cとを具備する塗布装置であって、このウエーハチャック2の回転軸2aとこの回転軸2aが緩挿されてなるこのカップ1の中心部の孔との間隙1dを調整できるシャッタ4を具備するように構成する。

請求項（抜粋）：

被塗布基板(5) を搭載するウエーハチャック(2) と、前記被塗布基板(5) の表面に塗布液を滴下するノズル(3) と、前記ウエーハチャック(2) の周囲に配設された前記ウエーハチャック(2) 周囲の空気の流れを整流する整流板(1a)及び該空気を排気する排気口(1b)と、前記ウエーハチャック(2) の周囲を包囲するカップ(1) と、前記カップ(1) に飛着した塗布液を排出する排液口(1c)とを具備する塗布装置であって、前記ウエーハチャック(2) の回転軸(2a)と前記回転軸(2a)が緩挿されてなる前記カップ(1) の中心部の孔との間隙(1d)を調整できるシャッタ(4) を具備することを特徴とする塗布装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , B05C 11/08 , B05D 1/40 , G03F 7/16 502 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 361 C , H01L 21/30 361 D

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