反射防止膜

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐野静夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-145890
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330705
出願日： 2000年05月18日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 350nm〜550nm程度の広い波長域の光とアライメント光に対して反射防止効果を有する反射防止膜を提供する。【解決手段】基板(L0)側から順に、中間屈折率材料から成る第1層(L1)と、低屈折率材料から成る第2層(L2)と、中間屈折率材料から成る第3層(L3)と、高屈折率材料から成る第4層(L4)と、低屈折率材料から成る第5層(L5)と、を積層して成り、使用する波長領域の中心波長を設計主波長としたとき条件式:1.35<nL<1.48,1.50<nM<1.70,1.90<nH<2.60(nL,nM,nH:設計主波長に対する低屈折率材料,中間屈折率材料,高屈折率材料の屈折率)を満足する。

請求項（抜粋）：

基板側から順に、中間屈折率材料から成る第1層と、低屈折率材料から成る第2層と、中間屈折率材料から成る第3層と、高屈折率材料から成る第4層と、低屈折率材料から成る第5層と、を積層して成り、使用する波長領域の中心波長を設計主波長としたとき以下の条件式(1)〜(3)を満足することを特徴とする5層構成の反射防止膜;1.35<nL<1.48 ...(1)1.50<nM<1.70 ...(2)1.90<nH<2.60 ...(3)ただし、nL:設計主波長に対する低屈折率材料の屈折率、nM:設計主波長に対する中間屈折率材料の屈折率、nH:設計主波長に対する高屈折率材料の屈折率、である。

IPC (3件)：

G02B 1/11 , B32B 7/02 103 , C03C 17/34

FI (3件)：

B32B 7/02 103 , C03C 17/34 Z , G02B 1/10 A

Fターム (45件)：

2K009AA08 , 2K009AA09 , 2K009CC03 , 2K009CC06 , 4F100AA05C , 4F100AA05E , 4F100AA17B , 4F100AA17C , 4F100AA17D , 4F100AA17E , 4F100AA18C , 4F100AA18E , 4F100AA19B , 4F100AA19D , 4F100AA20C , 4F100AA20E , 4F100AA33C , 4F100AA33E , 4F100AT00A , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10E , 4F100BA26 , 4F100GB90 , 4F100JN06 , 4F100JN18A , 4F100JN18B , 4F100JN18C , 4F100JN18D , 4F100JN18E , 4F100YY00A , 4F100YY00B , 4F100YY00C , 4F100YY00D , 4F100YY00E , 4G059AA11 , 4G059AC04 , 4G059EA01 , 4G059EA05 , 4G059EA09 , 4G059EA16 , 4G059GA02 , 4G059GA04 , 4G059GA12

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