感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362035
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174988
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】テント信頼性及び解像度が優れ、かつ剥離時間が短い感光性樹脂組成物、及び感光性エレメント、及びこれを利用したプリント配線板の製造法。【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)1分子中にエチレン性不飽和結合を少なくとも1個有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(B)成分が(B1)イソシアヌル環を有する化合物及び(B2)分子内に少なくとも2つのフェニレン基又はフェニル基を有する化合物を必須成分とする感光性樹脂組成物、この感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥、積層してなる感光性エレメント、この感光性エレメントを、利用したレジストパターンの製造法並びにこのレジストパターンの製造法により、レジストパターンの製造された回路形成用基板をエッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造法。

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマー、(B)1分子中にエチレン性不飽和結合を少なくとも1個有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記(B)成分が(B1)イソシアヌル環を有する化合物及び(B2)分子内に少なくとも2つのフェニレン基又はフェニル基を有する化合物を必須成分とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , G03F 7/40 521 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (7件)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , G03F 7/40 521 , H05K 3/06 H , H05K 3/18 D

Fターム (54件)：

2H025AA02 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC32 , 2H025BC34 , 2H025BC42 , 2H025BC43 , 2H025BC82 , 2H025CA28 , 2H025CB16 , 2H025CB43 , 2H025CB55 , 2H025FA03 , 2H025FA15 , 2H025FA40 , 2H025FA43 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096BA20 , 2H096EA02 , 2H096GA03 , 2H096GA08 , 2H096HA17 , 2H096HA27 , 2H096JA04 , 5E339BC02 , 5E339BD11 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CE16 , 5E339CE19 , 5E339CF15 , 5E339CG04 , 5E339DD02 , 5E339DD04 , 5E343AA15 , 5E343AA17 , 5E343BB24 , 5E343BB38 , 5E343BB43 , 5E343BB44 , 5E343BB55 , 5E343BB67 , 5E343CC63 , 5E343CC65 , 5E343ER12 , 5E343GG08 , 5E343GG11

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