特許

J-GLOBAL ID：200903051668459080

オゾンセンサ

発明者： 立花 弘一 ,  服部 章良 ,  吉田 昭彦 ,  木村 邦夫 ,  ▲よし▼池 信幸
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-160311
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010909
出願日： 1991年07月01日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 感応体薄膜と電気絶縁性基板の接合強度を増して耐熱衝撃性を向上させ、長期間の信頼性の向上を図るとともに、感度と応答性を向上させる。【構成】 表面粗さ(Ra)が0.5μm以下、望ましくは0.1〜3μmの電気絶縁性基板を用いる。【効果】 表面粗さ(Ra)が0.5μm以下の電気絶縁性基板を用いることにより、感応体薄膜と基板の接合性が向上し、かつ有効表面積の拡大により感度,応答性が向上する。

請求項（抜粋）：

電気絶縁性の基板上に形成された1対の電極、および前記電極間に形成された金属酸化物半導体を主体とする薄膜状の感応体を備えたオゾンセンサにおいて、前記基板の表面粗さ(Ra)が0.5μm以下、望ましくは0.1〜0.3μmの範囲にあることを特徴とするオゾンセンサ。