特許

J-GLOBAL ID：200903051673388018

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者： 沢辺 賢 ,  石丸 敏明 ,  中村 三佳 ,  正岡 和隆 ,  市川 立也 ,  矢野 雅次郎 ,  小林 明洋 ,  秋間 敏夫
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-227082
公開番号（公開出願番号）：特開平6-075371
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 優れた耐めっき性、可撓性及び剥離性を有し、現像スカムの発生しない感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供する。【構成】 (A)ビスフェノールA骨格とポリプロピレングリコール及び/又はポリエチレングリコール鎖を有するエチレン性不飽和化合物、(B)有機ハロゲン化合物、(C)フィルム性付与ポリマー並びに(D)活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤及び/又は光開始剤系を含有してなる感光性樹脂組成物並びに該組成物の層とこれを支持する支持体フィルムとからなる感光性エレメントである。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(I)【化1】〔式中、R1及びR4は、各々独立して水素原子又はメチル基を表し、R2は、エチレン基又はプロピレン基を表し、R3は、エチレン基又はプロピレン基を表し、R2とR3とは必ず異なる基であって、R2がプロピレン基の場合mは1〜2の整数で、nは1以上の整数であり、R3がプロピレン基の場合nは1〜2の整数で、mは1以上の整数である〕で表されるエチレン性不飽和化合物の少なくとも1種、(B)有機ハロゲン化合物、(C)フィルム性付与ポリマー並びに(D)活性線により遊離ラジカルを生成しうる光開始剤及び/又は光開始剤系を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/027 502 ,  G03C 1/675 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/18