特許

J-GLOBAL ID：200903051676609597

検査基準決定方法、検査基準決定装置、及び外観検査装置

発明者： 林 秀彦 ,  中易 秀敏 ,  中川 雅央
出願人/特許権者： 学校法人甲南学園 ,  国立大学法人滋賀大学
代理人 (3件)： 板谷 康夫 ,  田口 勝美 ,  水田 愼一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-169390
公開番号（公開出願番号）：特開2007-333709
出願日： 2006年06月19日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：

【課題】検査基準決定方法、検査基準決定装置、及び外観検査装置において、簡単な構成により、心理測定曲線を求めるための試行回数や検査員の負担を低減し、高い効率で精度よく、かつ、低コストで簡便に検査基準を決定することを可能とし、その検査基準を用いて外観検査の自動化を図る。【解決手段】検査基準決定装置1は、試料の欠陥候補領域が有する外観的特徴量により欠陥であるかどうかを判定する検査基準を、その特徴量からなる刺激に対する検査員Mの応答を数値化した心理測定曲線、に基づいて決定する。心理測定曲線をステアケース法を用いて求める。検査基準決定装置1は、画像生成手段2と、画像呈示手段3と、入力手段4と、呈示画像決定手段5と、統計処理手段6と、記憶手段7と、外部入出力手段8と、中央制御手段10と、を備えている。心理測定曲線を用いることにより、検査基準に、人間の感性、すなわち、知覚特性や感覚特性を加味できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料の欠陥候補領域が有する外観的特徴量の大小によって当該領域が欠陥であるかどうかを判定するための、前記特徴量に関する基準を決定する検査基準決定方法であって、 前記特徴量を所定の標準値にした欠陥候補領域を有する標準サンプルと、前記特徴量を前記標準値から所定量づつ段階的に増加または減少させて互いに異なる値にした欠陥候補領域を有する複数の標的サンプルと、を準備する工程と、 検査員に前記標準サンプルと前記標的サンプルの1つとを呈示し、前記2つのサンプルの欠陥候補領域の特徴量を互いに比較させてその大小を回答させる工程と、 前記回答が、前記標的サンプルの特徴量の方が大きいとの回答の場合に、前記呈示した標的サンプルの特徴量よりも1段階小さい値の特徴量を有する標的サンプルを前記標準サンプルと共に前記検査員に呈示し、前記回答が、前記標的サンプルの特徴量の方が小さいとの回答の場合に、前記呈示した標的サンプルの特徴量よりも1段階大きい値の特徴量を有する標的サンプルを前記標準サンプルと共に前記検査員に呈示して、前記呈示した2つのサンプルの欠陥候補領域の特徴量を互いに比較させてその大小を回答させる工程と、 前記検査員の回答に応じて標的サンプルを呈示する工程を所定回数繰り返すことにより前記特徴量に対する回答の度数分布を取得し、その度数分布の平均値と標準偏差とを含む統計パラメータを算出する工程と、を備え、 前記統計パラメータに基づいて、前記特徴量に対する前記検査員の目視による判断を数値化した検査基準を決定することを特徴とする検査基準決定方法。

IPC (1件)：

G01N 21/93

FI (1件)：

G01N21/93

Fターム (7件)：

2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02 ,  2G051ED11