特許

J-GLOBAL ID：200903051677925930

半導体検査装置

発明者： 古賀 一矢
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-321322
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131382
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 多数個同時測定可能な半導体検査装置の提供。【解決手段】 各々の試験素子に測定・演算回路を設け、半導体検査装置に接続する。

請求項（抜粋）：

複数の試験素子の電気特性試験に用いる半導体検査装置において、個々の試験素子に個別の必要充分な数量の電気信号測定装置と前記電気信号測定装置の値を演算し、検査条件を設定し、試験素子の良否信号を出力する演算回路を前記半導体試験装置と試験素子との間に付加し、前記演算回路の一連の動作を予め前記演算回路に格納されたプログラムによる処理に沿って自動的に行う機能としたことを特徴とする半導体検査装置。

IPC (2件)：

G01R 31/28 ,  G01R 31/26

FI (3件)：

G01R 31/26 G ,  G01R 31/28 H ,  G01R 31/28 Y

Fターム (7件)：

2G003AA07 ,  2G003AH04 ,  2G003AH05 ,  2G032AA00 ,  2G032AE00 ,  2G032AE06 ,  2G032AL11