特許
J-GLOBAL ID：200903051677980973
走査電子顕微鏡における輝度補正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216826
公開番号（公開出願番号）：特開平6-068830
出願日： 1992年08月14日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 ECPモードなどのスロースキャンの場合でも、フォーカス合わせを行いながら自動的に輝度の補正を行い得る走査電子顕微鏡における輝度補正方法を実現する。【構成】 サンプリング回路13で検出データのサンプリングが行われるが、このデータのサンプリングは、陰極線管の1画面SがN分割させられ、各分割された小領域ごとにm×nのデータがサンプリングされる。データ検出回路15においては、各分割された小領域ごとのデータの最大値,最小値,平均値を検出しメモリー16に記憶する。データ計算回路17は、メモリー16に記憶された第1回目と第2回目の走査時の各小領域ごとの最大値,最小値,平均値を求める。この各値に基づいて検出信号のコントラストとブライトネスの補正が行われる。
請求項（抜粋）：
試料上で電子ビームを走査し、この走査に基づいて得られた信号を検出し、検出信号に基づいて試料像を表示するようにした走査電子顕微鏡において、表示画面を仮想的に複数の小領域に分割し、各小領域中の検出信号データの最大値,最小値,平均値を求め、各小領域ごとにその値と前回の走査時の各値とを比較し、その比較結果に基づいて各小領域ごとに検出信号の輝度の補正を行うようにした走査電子顕微鏡における輝度補正方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
