試料表面分析用真空排気装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯沼義彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-300943
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132711
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、試料表面についてオージェスペクトル分析を行なうための真空排気装置に関し、特に試料表面が排気の際の油分による汚染を受けないようにするとともに、効率のよい真空保持が行なわれるようにする。【解決手段】分析室1および試料準備室3の初期排気を行なうダイアフラム型真空ポンプ7と、分析室1の真空度を超高真空に高めるターボ分子ポンプ11とが設けられる。油分で試料汚染を招きやすい従来のロータリー式真空ポンプの代わりに、油分を用いないダイアフラム型真空ポンプ7が採用されたのに伴い、同ポンプ7で、試料導入棒4の筒状案内部3bの内部からの直接排気も行なえるようにした。

請求項（抜粋）：

試料を準備状態で保持するための気密蓋付き試料準備室と、同試料準備室にゲートバルブを介し連通しうる試料表面分析室と、上記試料準備室に保持された試料を上記ゲートバルブを通じて上記試料表面分析室へ送給しうる試料送給手段とをそなえるとともに、上記の試料準備室および試料表面分析室にそれぞれ排気可能に連通しうる初期排気用真空ポンプと、上記試料表面分析室に接続された超高真空保持用ターボ分子ポンプとをそなえ、上記初期排気用真空ポンプが、そのポンプ室に区画室を形成するように張設された振動式ダイアフラムと、同ダイアフラムで仕切られた上記区画室へ上記の試料準備室と試料表面分析室とから吸気するための吸気用逆止弁と、上記区画室から排気するための排気用逆止弁とをそなえたダイアフラム型真空ポンプとして構成されたことを特徴とする、試料表面分析用真空排気装置。

IPC (4件)：

G01N 1/00 101 , F04B 37/10 , F04D 19/04 , G01N 23/227

FI (4件)：

G01N 1/00 101 C , F04B 37/10 , F04D 19/04 , G01N 23/227

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