特許

J-GLOBAL ID：200903051696287510

基板ホルダ、基板搬送アーム、露光装置及び基板露光処理装置

発明者： 小暮 清 ,  太田 稔也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-354209
公開番号（公開出願番号）：特開2002-158277
出願日： 2000年11月21日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】 剥離帯電によって基板に発生した静電気の除電あるいは静電気の発生量を減少する。【解決手段】 基板ホルダに基板Pに帯電した静電気を除電する機能、あるいは基板への静電気の発生を抑制する機能を持たせる。一例として、基板ホルダ51に、基板保持部に対して突出可能に設けられた複数の除電針59と、それを基板保持部から突出する方向あるいはその逆の方向に駆動する駆動手段とを備える。

請求項（抜粋）：

基板を保持する基板保持部を有する基板ホルダにおいて、基板に帯電した静電気を除電する機能、あるいは基板への静電気の発生を抑制する機能を有することを特徴とする基板ホルダ。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 P ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 E ,  G03F 1/14 M ,  H01L 21/30 503 C

Fターム (14件)：

2H095BE12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA35 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33 ,  5F031HA35 ,  5F031MA27 ,  5F031PA21 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046CC20